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CKD小型流量傳感器 氣體用

CKD小型流量傳感器 氣體用

產(chǎn)品型號(hào): FSM2-PVF101-H081

所屬分類:CKD氣動(dòng)元件

更新時(shí)間:2024-08-15

簡(jiǎn)要描述:CKD小型流量傳感器 氣體用
較適合半導(dǎo)體、液晶制造域的用途。
無(wú)需直管部位,內(nèi)置新的整流機(jī)構(gòu),上游側(cè)和下游側(cè)
大流量、小體積,流量范圍:0.5~1000?/min500、

詳細(xì)說(shuō)明:

CKD小型流量傳感器 氣體用
功能特點(diǎn):
雙畫(huà)面雙色顯示氣體用小型流量傳感器。
均無(wú)需直管部位,可自由設(shè)置。雙方向測(cè)量,顯示一體型、
1000L/min型實(shí)現(xiàn)了比原有體積減少30%的小型化。
硅微加工的白金傳感器芯片,實(shí)現(xiàn)50m/sec的響應(yīng)速度。
適合半導(dǎo)體、液晶制造域的用途。
無(wú)需直管部位,內(nèi)置新的整流機(jī)構(gòu),上游側(cè)和下游側(cè)
大流量、小體積,流量范圍:0.5~1000?/min500、
潔凈規(guī)格,標(biāo)配有P70(防止發(fā)塵)、P80(禁油規(guī)格)產(chǎn)品。
備有顯示一體型、顯示分離型2種產(chǎn)品類型。
雙向型可任意設(shè)定流向進(jìn)行測(cè)量。高速響應(yīng),采用經(jīng)過(guò)

CKD小型流量傳感器 氣體用
技術(shù)規(guī)格:
溫度特性 ±0.2%F.S./°C以內(nèi)(15~35°C、25°C基準(zhǔn))
緣體外徑φ1.0 具備功能 流量顯示、流量顯示峰值保持、開(kāi)關(guān)輸出、模擬輸出
使用環(huán)境溫度·濕度 0~50°C,90%RH以下
重復(fù)性 ±1%F.S.以內(nèi) 響應(yīng)時(shí)間  50ms以下 流體溫度 0~50°C(不得結(jié)露)
Z高使用壓力 0.7MPa 低使用壓力 -0.09MPa 耐壓 1MPa
使用范圍 單向型:3~100%F.S.,雙向型:-100~-3%F.S.,3~100%F.S.
直線性(顯示·模擬輸出) ±3%F.S.以內(nèi)(2側(cè)大氣開(kāi)放)
消耗電流 注10 50mA以下 導(dǎo)線 φ3.7 相當(dāng)于AWG26×5芯(接插件連接),
壓力特性 ±5%F.S.以內(nèi)(-0.09~0.7MPa,2側(cè)大氣開(kāi)放基準(zhǔn))






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